No.4310E【中古】アルバック機工製ミニスパッタ
【価格】 | ※お問い合わせ下さい |
【内容】 | ・品名:アルバック機工製ミニスパッタ ・メーカー:アルバック機工株式会社 ・型式:MNS-2000-RF ・年式:2008年 1.到達圧力:6.7×10⁻⁵Pa以下(ターゲットは未取付けの状態と致します。) 室温にて、基盤及び基盤ホルダなどが無挿入の場合と致します。 また、基盤加熱機構が常温(非稼働時)の場合です。 2.基盤処理枚数:Φ10㎜基盤あるいはΦ2”基盤1枚 3.基盤加熱温度:最高500℃ 4.膜厚分布±10%以下(Φ2”基盤のΦ40㎜内) 分布計算式は、(MAX-min)/(MAX+min)×100(±%) ※参考値 |
【条件】 | 現状置場渡し、保証なし、売り切れ御免、ご発注時一括現金振込 |
【掲載日】 | 2024年1月16日 |