No.4310E【中古】アルバック機工製ミニスパッタ

【価格】 ※お問い合わせ下さい
【内容】 ・品名:アルバック機工製ミニスパッタ
・メーカー:アルバック機工株式会社
・型式:MNS-2000-RF
・年式:2008年
1.到達圧力:6.7×10⁻⁵Pa以下(ターゲットは未取付けの状態と致します。)
室温にて、基盤及び基盤ホルダなどが無挿入の場合と致します。
また、基盤加熱機構が常温(非稼働時)の場合です。
2.基盤処理枚数:Φ10㎜基盤あるいはΦ2”基盤1枚
3.基盤加熱温度:最高500℃
4.膜厚分布±10%以下(Φ2”基盤のΦ40㎜内)
分布計算式は、(MAX-min)/(MAX+min)×100(±%)
※参考値
【条件】 現状置場渡し、保証なし、売り切れ御免、ご発注時一括現金振込
【掲載日】 2024年1月16日